Просмотр Авторы Tsurko, V. A.
Результаты 1 - 3 из 3
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2003 | Diffusion of ion-implanted As in Si: influence of the elastic stress | Velichko, O. I.; Dobrushkin, V. A.; Tsurko, V. A. |
| 2009 | Numerical method for computer modeling of diffusion of implanted dopant atoms in silicon in modern VLSI technology | Khina, B. B.; Tsurko, V. A.; Zayats, G. M. |
| 2001 | Simulation of plasma assisted doping of silicon | Velichko, O. I.; Dobrushkin, V. A.; Tsurko, V. A.; Senko, N. A. |