Просмотр Авторы Ясюнас, А. А.
Результаты 1 - 5 из 5
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2011 | ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А. |
| 2018 | Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда | Ковалевский, А. А.; Котов, Д. А.; Корзун, К. А.; Ясюнас, А. А.; Гранько, С. В. |
| 2013 | Магнетронная распылительная система с кольцевой разрядной зоной и двумя катодными узлами | Савич, В. А.; Ясюнас, А. А.; Ковриго, В. М. |
| 2013 | Оптические свойства и структура пленок низкотемпературного плазмохимического диоксида кремния | Ясюнас, А. А.; Котов, Д. А.; Комар, О. М. |
| 2011 | ПРОЦЕСС ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ СТРУКТУРЫ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А. |