Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48440| Заглавие документа: | Магнетронная распылительная система с кольцевой разрядной зоной и двумя катодными узлами |
| Авторы: | Савич, В. А. Ясюнас, А. А. Ковриго, В. М. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Аннотация: | В данной статье приведены основные разрядные характеристики цилиндрической магнетронной распылительной системы с кольцевой зоной распыления и высоким коэффициентом использования материала мишени, предназначенной для нанесения прозрачных проводящих покрытий. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48440 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.