Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48440| Title: | Магнетронная распылительная система с кольцевой разрядной зоной и двумя катодными узлами |
| Authors: | Савич, В. А. Ясюнас, А. А. Ковриго, В. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | В данной статье приведены основные разрядные характеристики цилиндрической магнетронной распылительной системы с кольцевой зоной распыления и высоким коэффициентом использования материала мишени, предназначенной для нанесения прозрачных проводящих покрытий. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48440 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.