Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Физический факультет
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА
  4. Сборники научных статей и материалы конференций физического факультета
  5. Взаимодействие излучений с твердым телом
  6. 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48440
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorСавич, В. А.-
dc.contributor.authorЯсюнас, А. А.-
dc.contributor.authorКовриго, В. М.-
dc.date.accessioned2013-10-08T08:07:42Z-
dc.date.available2013-10-08T08:07:42Z-
dc.date.issued2013-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/48440-
dc.description.abstractВ данной статье приведены основные разрядные характеристики цилиндрической магнетронной распылительной системы с кольцевой зоной распыления и высоким коэффициентом использования материала мишени, предназначенной для нанесения прозрачных проводящих покрытий.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleМагнетронная распылительная система с кольцевой разрядной зоной и двумя катодными узламиru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Савич.pdf1,5 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.