Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/26363| Заглавие документа: | ПРОЦЕСС ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ СТРУКТУРЫ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ |
| Авторы: | Котов, Д. А. Ясюнас, А. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | Исследован процесс плазмохимического травления тонких пленок нитрида титана во фторуглеродной плазме. По- лучены зависимости скорости травления титана, нитрида титана и фоторезиста SP-1805 в плазме высокочастотного емкостного разряда от вкладываемой мощности и процентного содержания кислорода в смеси рабочих газов CF4+O2. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/26363 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Котов-Ясюнас.pdf | 444,78 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.