Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/26363Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Ясюнас, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-12-07T12:41:38Z | - |
| dc.date.available | 2012-12-07T12:41:38Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/26363 | - |
| dc.description.abstract | Исследован процесс плазмохимического травления тонких пленок нитрида титана во фторуглеродной плазме. По- лучены зависимости скорости травления титана, нитрида титана и фоторезиста SP-1805 в плазме высокочастотного емкостного разряда от вкладываемой мощности и процентного содержания кислорода в смеси рабочих газов CF4+O2. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | ПРОЦЕСС ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ СТРУКТУРЫ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Котов-Ясюнас.pdf | 444,78 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.