Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/26363| Title: | ПРОЦЕСС ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ СТРУКТУРЫ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ |
| Authors: | Котов, Д. А. Ясюнас, А. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Исследован процесс плазмохимического травления тонких пленок нитрида титана во фторуглеродной плазме. По- лучены зависимости скорости травления титана, нитрида титана и фоторезиста SP-1805 в плазме высокочастотного емкостного разряда от вкладываемой мощности и процентного содержания кислорода в смеси рабочих газов CF4+O2. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/26363 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Котов-Ясюнас.pdf | 444,78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.