Просмотр Авторы Попов, В. П.
Результаты 1 - 5 из 5
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2019 | Водородный перенос слоев кремния на сапфир и кремний c HIGH-K PEALD нанослоями диэлектриков | Попов, В. П.; Антонов, В. А.; Гутаковский, А. К.; Тысченко, И. Е.; Мяконьких, А. В.; Руденко, К. В. |
| 2021 | Диффузия ионно-имплантированного германия из SiO2 в кремний и формирование фазы SiGe | Тысченко, И. Е.; Хмельницкий, Р. А.; Володин, В. А.; Попов, В. П. |
| 2021 | Термостабильность высокоомных слоев в имплантированном ионами СО+ кремнии | Попов, В. П.; Тарков, С. М.; Антонов, В. А.; Гутаковский, А. К.; Вдовин, В. И.; Тысченко, И. Е. |
| 2023 | Формирование фаз в структурах кремний-на-изоляторе, имплантированных ионами In+ и Sb+ | Тысченко, И. Е.; Чжан, Ж.; Гутаковский, А. К.; Вдовин, В. И.; Володин, В. А.; Попов, В. П. |
| 2023 | Фотолюминесценция и распределение атомов в пленках SiO2, имплантированных ионами In+ и As+ | Тысченко, И. Е.; Сы, Ч.; Черкова, С. Г.; Попов, В. П. |