Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/31416| Заглавие документа: | Формирование структур на основе Si–SiO2 методом реактивного магнетронного распыления |
| Авторы: | Гайдук, П. И. Зайков, В. А. Казючиц, Н. М. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2008 |
| Издатель: | РЕДАКЦИОННО-ИЗДАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР АКАДЕМИИ УПРАВЛЕНИЯ ПРИ ПРЕЗИДЕНТЕ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/31416 |
| Располагается в коллекциях: | 2008. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ Si–SiO2 МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ.pdf | 381,04 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.