Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/31416
Title: | Формирование структур на основе Si–SiO2 методом реактивного магнетронного распыления |
Authors: | Гайдук, П. И. Зайков, В. А. Казючиц, Н. М. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
Issue Date: | 2008 |
Publisher: | РЕДАКЦИОННО-ИЗДАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР АКАДЕМИИ УПРАВЛЕНИЯ ПРИ ПРЕЗИДЕНТЕ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/31416 |
Appears in Collections: | 2008. Квантовая электроника |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ Si–SiO2 МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ.pdf | 381,04 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.