Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/31416
Заглавие документа: Формирование структур на основе Si–SiO2 методом реактивного магнетронного распыления
Авторы: Гайдук, П. И.
Зайков, В. А.
Казючиц, Н. М.
Тема: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Дата публикации: 2008
Издатель: РЕДАКЦИОННО-ИЗДАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР АКАДЕМИИ УПРАВЛЕНИЯ ПРИ ПРЕЗИДЕНТЕ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/31416
Располагается в коллекциях:2008. Квантовая электроника

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ Si–SiO2 МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ.pdf381,04 kBAdobe PDFОткрыть



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.