Выявление микродефектов в монокристаллах Si методом дефект-контрастного травления : методические указания к лабораторной работе по спецкурсу  «Физическая химия кристаллов полупроводников» /  А. Е. Усенко, А. В. Юхневич; БГУ, Химический факультет, Кафедра физической химии

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/9872

Title:	Выявление микродефектов в монокристаллах Si методом дефект-контрастного травления : методические указания к лабораторной работе по спецкурсу «Физическая химия кристаллов полупроводников» / А. Е. Усенко, А. В. Юхневич; БГУ, Химический факультет, Кафедра физической химии
Authors:	Усенко, Александра Евгеньевна Юхневич, Анатолий Викторович
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date:	24-May-2012
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/9872
Appears in Collections:	Малотиражная литература химического факультета

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
УсенкоЮхневич-методичка.pdf		528,16 kB	Adobe PDF	View/Open