Структурные, оптические и электрофизические свойства фоторезистивных нанокомпозитов : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель В. С. Волобуев

Abstract

Объектом исследования являются металлополимерные композиты, по-лученные имплантацией ионов магнитных и немагнитных металлов в фото-резист. Целью настоящей работы является исследование наноструктурирован-ных металлополимерных композитов, полученных путем ионной импланта-ции плёнки фоторезиста на кремниевой подложке ионами металлов; опреде-ление электрофизических свойств сформированных нанокомпозитов; изуче-ние возможности их практического использования в микро-, опто- и нано-электронике. В процессе работы проведён микроструктурный анализ полученных ма-териалов методами растровой электронной, атомно - силовой микроскопии и ЭПР - спектроскопии. Исследованы оптические спектры отражения, особен-ности электропроводимости и парамагнетизм облученных пленок фоторези-ста, в зависимости от дозы имплантации. В результате исследований обнаружено формирование приповерхност-ного слоя с повышенной микротвердостью. Установлено образование на по-верхности полимера наноструктур, параметры которых изменяются с ростом дозы имплантации. Показано, что с ростом дозы имплантации и в зависимо-сти от типа имплантируемой примеси изменяются оптические и парамагнит-ные свойства таких металлополимерных систем, проявляющиеся в измене-нии коэффициента отражения, времен спин - спиновой и спин - решеточной релаксации парамагнитных центров. Результаты исследований могут быть использованы в микроэлектронной промышленности при разработке способов и устройств передачи считывания информации, а также при производстве изделий оптоэлектронной техники. Полученные результаты также могут использоваться в учебном процессе ес-тественных факультетов университетов, в научно-исследовательской работе, при постановке новых лабораторных работ при изучении структурных, элек-трофизических, парамагнитных и оптических свойств наноструктурирован-ных конденсированных сред.