Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/96121
Заглавие документа: | Структурные, оптические и электрофизические свойства фоторезистивных нанокомпозитов : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель В. С. Волобуев |
Авторы: | Волобуев, В. С. Олешкевич, А. Н. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2014 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Аннотация: | Объектом исследования являются металлополимерные композиты, по-лученные имплантацией ионов магнитных и немагнитных металлов в фото-резист. Целью настоящей работы является исследование наноструктурирован-ных металлополимерных композитов, полученных путем ионной импланта-ции плёнки фоторезиста на кремниевой подложке ионами металлов; опреде-ление электрофизических свойств сформированных нанокомпозитов; изуче-ние возможности их практического использования в микро-, опто- и нано-электронике. В процессе работы проведён микроструктурный анализ полученных ма-териалов методами растровой электронной, атомно - силовой микроскопии и ЭПР - спектроскопии. Исследованы оптические спектры отражения, особен-ности электропроводимости и парамагнетизм облученных пленок фоторези-ста, в зависимости от дозы имплантации. В результате исследований обнаружено формирование приповерхност-ного слоя с повышенной микротвердостью. Установлено образование на по-верхности полимера наноструктур, параметры которых изменяются с ростом дозы имплантации. Показано, что с ростом дозы имплантации и в зависимо-сти от типа имплантируемой примеси изменяются оптические и парамагнит-ные свойства таких металлополимерных систем, проявляющиеся в измене-нии коэффициента отражения, времен спин - спиновой и спин - решеточной релаксации парамагнитных центров. Результаты исследований могут быть использованы в микроэлектронной промышленности при разработке способов и устройств передачи считывания информации, а также при производстве изделий оптоэлектронной техники. Полученные результаты также могут использоваться в учебном процессе ес-тественных факультетов университетов, в научно-исследовательской работе, при постановке новых лабораторных работ при изучении структурных, элек-трофизических, парамагнитных и оптических свойств наноструктурирован-ных конденсированных сред. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/96121 |
Регистрационный номер: | № госрегистрации 20122663 |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2014 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20122663 Волобуев.doc | 6,09 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.