Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/95606| Title: | Создание слоя микропористого кремния путем имплантации ионов сурьмы |
| Authors: | Садовский, П. К. Челядинский, А. Р. Оджаев, В. Б. Тарасик, М. И. Турцевич, А. С. Васильев, Ю. Б. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Вестник БГУ. Серия 1, Физика. Математика. Информатика. - 2013. - №2. - С. 15-19. |
| Abstract: | онтролируемых примесей. Микропустоты образуются на месте ранее сформированных преципитатов сурьмы во время высокотемпературного отжига, в результате которого атомы Sb покидают преципитаты и диффундируют в слой кремния. Время жизни неравновесных носителей заряда в пластинах кремния n- и p-типа проводимости с геттерным слоем в 3–4 раза выше, чем без него. Исследовано взаимодействие атомов Sb с микропорами геттерного слоя. Обнаружено, что часть примеси сурьмы захватывается на микропустоты во время геттерирующего отжига. Энергия активации процесса захвата сурьмы на поры ниже энергии активации диффузии сурьмы в кремнии, что объясняется влиянием на процесс диффузии полей упругих деформаций вокруг микропустот. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/95606 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2013, №2 (май) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.