Разработка нового низкотемпературного способа формирования диэлектрических слоев оксида кремния нанометровых толщин : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Федотов, А. К.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/6566

Title:	Разработка нового низкотемпературного способа формирования диэлектрических слоев оксида кремния нанометровых толщин : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Федотов, А. К.
Authors:	Федотов, А. К.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2010
Publisher:	БГУ
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/6566
Registration number:	20082051
Appears in Collections:	Отчеты 2010

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Отчет 20082051 Федотов.doc		2,96 MB	Microsoft Word	View/Open