Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/6566| Заглавие документа: | Разработка нового низкотемпературного способа формирования диэлектрических слоев оксида кремния нанометровых толщин : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Федотов, А. К. |
| Авторы: | Федотов, А. К. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издатель: | БГУ |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/6566 |
| Регистрационный номер: | 20082051 |
| Располагается в коллекциях: | Отчеты 2010 |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Отчет 20082051 Федотов.doc | 2,96 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.