Разработка нового низкотемпературного способа формирования диэлектрических слоев оксида кремния нанометровых толщин : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Федотов, А. К.

Даты публикации Авторы Заглавия Темы

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/6566

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Федотов, А. К.	-
dc.date.accessioned	2012-04-10T06:18:48Z	-
dc.date.available	2012-04-10T06:18:48Z	-
dc.date.issued	2010	-
dc.identifier.other	20082051	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/6566	-
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГУ	-
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Разработка нового низкотемпературного способа формирования диэлектрических слоев оксида кремния нанометровых толщин : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Федотов, А. К.	ru
dc.type	report	ru
Располагается в коллекциях:	Отчеты 2010

Полный текст документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
Отчет 20082051 Федотов.doc		2,96 MB	Microsoft Word	Открыть

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.