Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/53652| Title: | Диффузионные процессы в кремнии, модифицированном осаждением co покрытий в сочетании с облучением ионами Xe |
| Authors: | Михалкович, О. М. Ташлыков, И. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Citation: | Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния. Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния: материалы второй Междунар. науч.-практ. конф., 27 – 28 фев. 2013 г. – Минск, 2013. – С. 228-230 |
| Abstract: | В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузион- ных процессов в Si, модифицированном осаждением Co покрытий в условиях ассистирования собствен- ными ионами, когда образцы кремния предварительно облучались ионами ксенона. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/53652 |
| Appears in Collections: | 2013. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 228-230.pdf | 249,04 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.