Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/53652
Заглавие документа: Диффузионные процессы в кремнии, модифицированном осаждением co покрытий в сочетании с облучением ионами xe
Авторы: Михалкович, О. М.
Ташлыков, И. С.
Тема: ГРНТИ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2013
Библиографическое описание источника: Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния. Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния: материалы второй Междунар. науч.-практ. конф., 27 – 28 фев. 2013 г. – Минск, 2013. – С. 228-230
Аннотация: В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузион- ных процессов в Si, модифицированном осаждением Co покрытий в условиях ассистирования собствен- ными ионами, когда образцы кремния предварительно облучались ионами ксенона.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/53652
Располагается в коллекциях:2013. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
228-230.pdf249,04 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.