Измерение параметров полупроводниковых структур : учебная программа для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (1-31 04 01-02 производственная деятельность) № УД-2040/баз.

Abstract

Программа «Измерение параметров полупроводниковых структур» разработана для специализации 1-31 04 01-02 14 Микроэлектроника. Спецкурс посвящен теории и вопросам контроля материалов и полупроводниковых структур при создании интегральных микросхем (ИМС). Анализируются факторы, влияющие на качество изготавливаемых ИМС. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Рассматриваются оптические и электрофизические методы контроля, методы анализа атомной структуры, химического состава и электронных свойств различных материалов, применяемых в производстве изделий электронной техники. Большое внимание уделяется физическим основам и аппаратуре современных методов контроля материалов электронной техники. Отмечаются конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений. Обсуждаются методы подготовки образцов для измерений.