Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/51068
Заглавие документа: Измерение параметров полупроводниковых структур
Другое заглавие: Учебная программа для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (1-31 04 01-02 производственная деятельность)
Авторы: Пилипенко, Владимир Александрович
Тема: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Дата публикации: 2009
Аннотация: Программа «Измерение параметров полупроводниковых структур» разработана для специализации 1-31 04 01-02 14 Микроэлектроника. Спецкурс посвящен теории и вопросам контроля материалов и полупроводниковых структур при создании интегральных микросхем (ИМС). Анализируются факторы, влияющие на качество изготавливаемых ИМС. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Рассматриваются оптические и электрофизические методы контроля, методы анализа атомной структуры, химического состава и электронных свойств различных материалов, применяемых в производстве изделий электронной техники. Большое внимание уделяется физическим основам и аппаратуре современных методов контроля материалов электронной техники. Отмечаются конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений. Обсуждаются методы подготовки образцов для измерений.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/51068
Располагается в коллекциях:Семестр 8. Измерения параметров полупроводниковых структур

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Пилипенко_02-14_УП_Измерения параметров полупроводниковых структур.pdf173,76 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.