Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/51068
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Пилипенко, Владимир Александрович | - |
dc.date.accessioned | 2013-11-06T14:19:04Z | - |
dc.date.available | 2013-11-06T14:19:04Z | - |
dc.date.issued | 2009 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/51068 | - |
dc.description.abstract | Программа «Измерение параметров полупроводниковых структур» разработана для специализации 1-31 04 01-02 14 Микроэлектроника. Спецкурс посвящен теории и вопросам контроля материалов и полупроводниковых структур при создании интегральных микросхем (ИМС). Анализируются факторы, влияющие на качество изготавливаемых ИМС. Приводится классификация современных методов контроля, используемых в микроэлектронике. Рассматриваются оптические и электрофизические методы контроля, методы анализа атомной структуры, химического состава и электронных свойств различных материалов, применяемых в производстве изделий электронной техники. Большое внимание уделяется физическим основам и аппаратуре современных методов контроля материалов электронной техники. Отмечаются конструктивные особенности и принципы проведения различных видов измерений. Обсуждаются методы подготовки образцов для измерений. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
dc.title | Измерение параметров полупроводниковых структур : учебная программа для специальности 1-31 04 01 «Физика (по направлениям)» (1-31 04 01-02 производственная деятельность) № УД-2040/баз. | ru |
dc.type | syllabus | ru |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (архив) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Пилипенко_02-14_УП_Измерения параметров полупроводниковых структур.pdf | 173,76 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.