Лазерно-плазменное осаждение защитных наноструктурированных углеродных покрытий для оптики и электроники

Abstract

Исследовано влияние структуры графитовой мишени на характеристики углеродных пленок, осаждаемых лазерно-плазменным методом. Представленные результаты показывают что структура источника углерода оказывает существенное влияние на характеристики углеродных пленок, получаемых данным методом. На характеристики углеродных покрытий оказывает влияние также примесный состав источников углерода, прежде всего содержание в них примеси водорода. В целом, полученные в настоящей работе углеродные пленки характеризуются высоким удельным сопротивлением, высокими значениями микротвердости и высокой прозрачностью в видимом и ближнем ИК диапазонах. По совокупности данных характеристик эти пленки могут рассматриваться в качестве перспективного защитного материала для использования в оптике и электронике.