Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49106| Заглавие документа: | Композиционный состав и свойства поверхности систем Me/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами |
| Авторы: | Михалкович, О. М. Барайшук, С. М. Ташлыков, И. С. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Аннотация: | В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры поверх- ности (100) Si, диффузионных процессов на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния ме- тодом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами (ОПАСИ), топографии поверхности полученных структур, ее смачиваемости дистиллированной водой, а также нанотвердости. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49106 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Михалкович.pdf | 3,5 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.