Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49106
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Михалкович, О. М. | - |
dc.contributor.author | Барайшук, С. М. | - |
dc.contributor.author | Ташлыков, И. С. | - |
dc.date.accessioned | 2013-10-15T13:25:00Z | - |
dc.date.available | 2013-10-15T13:25:00Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49106 | - |
dc.description.abstract | В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры поверх- ности (100) Si, диффузионных процессов на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния ме- тодом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами (ОПАСИ), топографии поверхности полученных структур, ее смачиваемости дистиллированной водой, а также нанотвердости. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | Композиционный состав и свойства поверхности систем Me/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Михалкович.pdf | 3,5 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.