Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/49106
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, О. М.-
dc.contributor.authorБарайшук, С. М.-
dc.contributor.authorТашлыков, И. С.-
dc.date.accessioned2013-10-15T13:25:00Z-
dc.date.available2013-10-15T13:25:00Z-
dc.date.issued2013-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/49106-
dc.description.abstractВ настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры поверх- ности (100) Si, диффузионных процессов на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния ме- тодом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами (ОПАСИ), топографии поверхности полученных структур, ее смачиваемости дистиллированной водой, а также нанотвердости.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleКомпозиционный состав и свойства поверхности систем Me/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионамиru
dc.typeconference paperru
Располагается в коллекциях:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Михалкович.pdf3,5 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.