Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49106| Title: | Композиционный состав и свойства поверхности систем Me/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами |
| Authors: | Михалкович, О. М. Барайшук, С. М. Ташлыков, И. С. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры поверх- ности (100) Si, диффузионных процессов на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния ме- тодом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами (ОПАСИ), топографии поверхности полученных структур, ее смачиваемости дистиллированной водой, а также нанотвердости. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49106 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Михалкович.pdf | 3,5 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.