Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния

Abstract

Исследовано изменение прочностных характеристик пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора с проецированным пробегом 1 мкм. Аморфизация имплантированной области кремния (Ф ≥ 3·1014 см-2 для ионов P+) приводит к снижению микротвердости вблизи поверхности. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к рез- кому снижению микротвердости в приповерхностной области монокристалла. Полученные экспериментальные резуль- таты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого термического отжига.