Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/49067
Title: Модификация приповерхностных слоев имплантированных монокристаллов кремния
Authors: Просолович, В. С.
Бринкевич, Д. И.
Янковский, Ю. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Abstract: Исследовано изменение прочностных характеристик пластин кремния, имплантированных ионами бора и фосфора с проецированным пробегом 1 мкм. Аморфизация имплантированной области кремния (Ф ≥ 3·1014 см-2 для ионов P+) приводит к снижению микротвердости вблизи поверхности. Показано, что быстрый термический отжиг приводит к рез- кому снижению микротвердости в приповерхностной области монокристалла. Полученные экспериментальные резуль- таты объяснены с учетом генерации вакансий в процессе быстрого термического отжига.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/49067
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Просолович.pdf234,58 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.