Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48891
Title: МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ АТОМОВ БОРА ПРИ ОТЖИГЕ СЛОЕВ КРЕМНИЯ, СОЗДАННЫХ ВЫСОКОДОЗНОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ
Authors: Величко, О. И.
Гундорина, Е. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2010
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 112-115.
Abstract: В настоящей работе проведенный анализ позволяет определить микроскопические механизмы переноса атомов бора в диапазоне температур от 800 до 900 ºС, когда имеет место переход от одного механизма диффузии к другому.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48891
ISBN: 978-985-476-885-4
Appears in Collections:2010. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
О.И. Величко, Е.А. Гундорина.pdf237,55 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.