ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЭНЕРГИИ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР МАКРОПОРИСТЫЙ КРЕМНИЙ/ОКСИД ЦИНКА

Abstract

В данной работе приведены результаты исследований, в ходе которых были получены структуры на основе монокристаллического кремния и оксида цинка. Полученные структуры имеют более широкую спектральную чувствительность, чем обычные кремниевые фотопреобразователи. Данные структуры могут быть использованы в качестве преобразователей световой энергии в электрическую или как дискретные фотодетекторы. Так как технология их изготовления достаточно проста и не включает высокотемпературных обработок, то данные приборы могут быть включены в качестве составной части систем-на-кристалле и микроэлектромеханических систем.