Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48830| Title: | Вакуумное осаждение и импульсная модификация тонких пленок Ge на Si. Структура и фотолюминесценция |
| Authors: | Баталов, Р. И. Баязитов, Р. М. Новиков, Г. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Изучено вакуумное осаждение пленок Ge на подложки Si методом магнетронного распыления. В процессе осаждения варьировалось время распыления и температура подложки. Проведен наносекундный импульсный отжиг осажденных пленок Ge мощными лазерными или ионными пучками. Изучена зависимость структуры и оптических свойств пленок Ge/Si от параметров импульсных обработок. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48830 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Баталов.pdf | 214,6 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.