Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48830Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Баталов, Р. И. | - |
| dc.contributor.author | Баязитов, Р. М. | - |
| dc.contributor.author | Новиков, Г. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-11T09:18:34Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-11T09:18:34Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48830 | - |
| dc.description.abstract | Изучено вакуумное осаждение пленок Ge на подложки Si методом магнетронного распыления. В процессе осаждения варьировалось время распыления и температура подложки. Проведен наносекундный импульсный отжиг осажденных пленок Ge мощными лазерными или ионными пучками. Изучена зависимость структуры и оптических свойств пленок Ge/Si от параметров импульсных обработок. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Вакуумное осаждение и импульсная модификация тонких пленок Ge на Si. Структура и фотолюминесценция | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Баталов.pdf | 214,6 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.