Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48748| Title: | Влияние водорода на отжиг радиационных дефектов в эпитаксиальном кремнии |
| Authors: | Гиро, А. В. Покотило, Ю. М. Петух, А. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Методом DLTS исследовалось влияние имплантированного водорода на отжиг точечных радиационных дефектов, генерируемых γ-облучением в эпитаксиальном кремнии. Для эксперимента использовались промышленные диоды Шоттки. Установлено, что внедрённый водород не влияет на параметры отжига E-центров, однако существенно понижает температуру отжига центра V-O-H и приводит к появлению ярко выраженных отрицательных стадий отжига A-центров. Обсуждается механизм данного эффекта. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48748 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.