Влияние водорода на отжиг радиационных дефектов в эпитаксиальном кремнии

Гиро, А. В.; Покотило, Ю. М.; Петух, А. Н.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48748

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Гиро, А. В.	-
dc.contributor.author	Покотило, Ю. М.	-
dc.contributor.author	Петух, А. Н.	-
dc.date.accessioned	2013-10-10T13:03:39Z	-
dc.date.available	2013-10-10T13:03:39Z	-
dc.date.issued	2013	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/48748	-
dc.description.abstract	Методом DLTS исследовалось влияние имплантированного водорода на отжиг точечных радиационных дефектов, генерируемых γ-облучением в эпитаксиальном кремнии. Для эксперимента использовались промышленные диоды Шоттки. Установлено, что внедрённый водород не влияет на параметры отжига E-центров, однако существенно понижает температуру отжига центра V-O-H и приводит к появлению ярко выраженных отрицательных стадий отжига A-центров. Обсуждается механизм данного эффекта.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Влияние водорода на отжиг радиационных дефектов в эпитаксиальном кремнии	ru
dc.type	conference paper	ru
Appears in Collections:	2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Гиро .pdf		227,25 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar