Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48748
Title: Влияние водорода на отжиг радиационных дефектов в эпитаксиальном кремнии
Authors: Гиро, А. В.
Покотило, Ю. М.
Петух, А. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Abstract: Методом DLTS исследовалось влияние имплантированного водорода на отжиг точечных радиационных дефектов, генерируемых γ-облучением в эпитаксиальном кремнии. Для эксперимента использовались промышленные диоды Шоттки. Установлено, что внедрённый водород не влияет на параметры отжига E-центров, однако существенно понижает температуру отжига центра V-O-H и приводит к появлению ярко выраженных отрицательных стадий отжига A-центров. Обсуждается механизм данного эффекта.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48748
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Гиро .pdf227,25 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.