Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48431| Title: | Особенности исследований поперечных сечений субмикронных ИМС методом растровой электронной микроскопии |
| Authors: | Жигулин, Д. В. Киросирова, М. В. Попкова, А. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Исследованы поперечные сечения субмикронных ИМС, как с использованием химического декорирования (кислотного и щелочного), так и без него. Показано воздействие химических травителей на различные области вертикальной топологии ИМС. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48431 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Жигулин.pdf | 622,64 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.