Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48431Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Жигулин, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Киросирова, М. В. | - |
| dc.contributor.author | Попкова, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2013-10-08T07:47:56Z | - |
| dc.date.available | 2013-10-08T07:47:56Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48431 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы поперечные сечения субмикронных ИМС, как с использованием химического декорирования (кислотного и щелочного), так и без него. Показано воздействие химических травителей на различные области вертикальной топологии ИМС. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Особенности исследований поперечных сечений субмикронных ИМС методом растровой электронной микроскопии | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Жигулин.pdf | 622,64 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.