Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48431| Заглавие документа: | Особенности исследований поперечных сечений субмикронных ИМС методом растровой электронной микроскопии |
| Авторы: | Жигулин, Д. В. Киросирова, М. В. Попкова, А. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Аннотация: | Исследованы поперечные сечения субмикронных ИМС, как с использованием химического декорирования (кислотного и щелочного), так и без него. Показано воздействие химических травителей на различные области вертикальной топологии ИМС. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48431 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Жигулин.pdf | 622,64 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.