Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48427
Заглавие документа: | Моделирование технологических процессов в микроэлектронике : учебная программа для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям) (1-31 04 01-02 производственная деятельность) № УД-2042/баз. |
Авторы: | Пилипенко, Владимир Александрович |
Тема: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
Дата публикации: | 2009 |
Аннотация: | Программа «Моделирование технологических процессов в микроэлектронике» разработана для специализации 1-31 04 01-02 14 Микроэлектроника. Представленные в данной программе вопросы направлены на формирование базы углубленной подготовки студентов по специализации. Главная цель курса – ознакомление студентов с требованиями при проектировании новых интегральных схем с учетом главных качественных показателей СБИС – это быстродействие и плотность упаковки. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48427 |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (архив) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Пилипенко_Моделирвание технологических процессов в микроэлектронике.pdf | 170,69 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.