Моделирование технологических процессов в микроэлектронике : учебная программа для специальности 1-31 04 01 Физика (по направлениям) (1-31 04 01-02 производственная деятельность) № УД-2042/баз.

Abstract

Программа «Моделирование технологических процессов в микроэлектронике» разработана для специализации 1-31 04 01-02 14 Микроэлектроника. Представленные в данной программе вопросы направлены на формирование базы углубленной подготовки студентов по специализации. Главная цель курса – ознакомление студентов с требованиями при проектировании новых интегральных схем с учетом главных качественных показателей СБИС – это быстродействие и плотность упаковки. Спецкурс посвящен вопросам теории и технологии создания сверхбольших интегральных схем (СБИС). Рассматриваются основные пути увеличения степени интеграции интегральных микросхем (ИМС), приводятся особенности планарной технологии. Рассматриваются основные технологические операции создания ИМС: подготовка поверхности кремниевых пластин, эпитаксиальное наращивание пленок кремния, ионное легирование кремния, литография, формирование металлизированных соединений. Большое внимание уделяется физическим основам технологии СБИС и в частности конструктивно-технологическим особенностям методов межкомпонентной изоляции активных и пассивных элементов микросхем. Приводятся основные уравнения, описывающие работу биполярного транзистора и позволяющие проводить расчет основных его характеристик.