Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48350| Title: | Сегрегация германия при наноимпульсном лазерном воздействии на эпитаксиальные слои SiGe/Si |
| Authors: | Прокопьев, С. Л. Ивлев, Г. Д. Гайдук, П. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Методами атомно-силовой, просвечивающей и растровой электронной микроскопии исследованы структурные свойства эпитаксиальных слоев Si0,5Ge0,5/Si до и после лазерной обработки импульсами излучения наносекундной длительности. Динамика лазерного воздействия исследована методом двухволнового оптического зондирования на отражение пробного пучка. Исследуемые структуры выращивались на кремниевых подложках с ориентацией (100) и подвергались лазерной обработке на λ=0,69 мкм в интервале плотностей энергии облучения 1,5-2,5 Дж/см2 при длительности импульса 80 нс. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48350 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Прокопьев.pdf | 1,21 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.