Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/342807| Заглавие документа: | Laser plasma spectral characteristics for combined magnetron and laser deposition |
| Авторы: | Burmakou, A. Lyudchik, O. Kuleshov, V. Saladukha, D. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2012 |
| Издатель: | Kovcheg |
| Библиографическое описание источника: | Plasma physics and plasma technology, Minsk, Belarus, 17–21 сентября 2012 года. Vol. Volume I. – Minsk, Belarus: Kovcheg, 2012. – P. 270-273 |
| Аннотация: | The paper discusses the installation of combined pulsed laser and magnetron deposition of thin-film structures with controlled plasma flow conditions and the ability to study the plasma parameters. Two-pulse laser plasma spectral features are presented. A method to enhance energy, charge and elemental composition of the formed plasma as the main components in the thin film deposition process is released |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/342807 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра квантовой радиофизики и оптоэлектроники. Статьи |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков1.pdf | 739,89 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.