Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/342807Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Burmakou, A. | - |
| dc.contributor.author | Lyudchik, O. | - |
| dc.contributor.author | Kuleshov, V. | - |
| dc.contributor.author | Saladukha, D. | - |
| dc.date.accessioned | 2026-02-26T09:49:28Z | - |
| dc.date.available | 2026-02-26T09:49:28Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Plasma physics and plasma technology, Minsk, Belarus, 17–21 сентября 2012 года. Vol. Volume I. – Minsk, Belarus: Kovcheg, 2012. – P. 270-273 | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/342807 | - |
| dc.description.abstract | The paper discusses the installation of combined pulsed laser and magnetron deposition of thin-film structures with controlled plasma flow conditions and the ability to study the plasma parameters. Two-pulse laser plasma spectral features are presented. A method to enhance energy, charge and elemental composition of the formed plasma as the main components in the thin film deposition process is released | ru |
| dc.language.iso | en | ru |
| dc.publisher | Kovcheg | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.title | Laser plasma spectral characteristics for combined magnetron and laser deposition | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра квантовой радиофизики и оптоэлектроники. Статьи | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бурмаков1.pdf | 739,89 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.