Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/340994| Заглавие документа: | Усовершенствованный метод контроля фотомасок интегральных схем |
| Авторы: | Афанасьев, Г. К. Малашонок, В. А. Михайлов, В. П. Чернявский, А. Ф. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Математика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Механика |
| Дата публикации: | 1979 |
| Издатель: | Минск : Издательство БГУ имени В. И. Ленина |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета имени В. И. Ленина. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1979. – № 1. – С. 71-73 |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/340994 |
| ISSN: | 0372-5375 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 1979, №1 (январь) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 1979_Серия 1_1!-071-073.pdf | 218,75 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.