Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/340994
Title: Усовершенствованный метод контроля фотомасок интегральных схем
Authors: Афанасьев, Г. К.
Малашонок, В. А.
Михайлов, В. П.
Чернявский, А. Ф.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Математика
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Механика
Issue Date: 1979
Publisher: Минск : Издательство БГУ имени В. И. Ленина
Citation: Вестник Белорусского государственного университета имени В. И. Ленина. Сер. 1, Физика. Математика. Механика. – 1979. – № 1. – С. 71-73
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/340994
ISSN: 0372-5375
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:1979, №1 (январь)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
1979_Серия 1_1!-071-073.pdf218,75 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.