Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/340561| Title: | Облученные электронами пленки фоторезистов KMPE3502 |
| Other Titles: | Films of Photoresists KMPE3502 Irradiated by Electrons / Аbramov S.A., Brinkevich D.I., Prosolovich V.S., Zubova O.A., Grinyuk E.V., Buryi E.D., Lastovskii S.B. |
| Authors: | Абрамов, С. А. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Зубова, О. А. Гринюк, Е. В. Бурый, Е. Д. Ластовский, С. Б. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 16-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 22-25 сент. 2025 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. В. Углов (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 215-218. |
| Abstract: | Методом ИК-Фурье-спектроскопии с использованием приставки для диффузного отражения исследованы пленки фоторезистов КМР Е3502 толщиной 2.62 мкм, нанесенные на поверхность пластин кремния методом центрифугирования. Облучение электронами с энергией 3.5 МэВ дозой до Ф = 7x10 16 см-2 проводилось на линейном ускорителе электронов ЭЛУ-4. Показано, что при облучении интенсивность связанных с растворителем полос в диапазоне v = 1000-1070 см-1 снижается и при дозах > 1 x10 16 см-2 они исчезают из спектра. Полосы, связанные с колебаниями ароматического кольца, достаточно стабильны. Их интенсивность заметно снижается только при дозе Ф = 7x10 16 см-2. В области валентных колебаний кратных связей С=О и С=С при облучении наблюдалось снижение интенсивности полосы при 1700 см-1, связанной с растворителем, и возрастание интенсивности полосы при 1650 см-1, обусловленный, вероятнее всего, образованием хиноидных групп. Интенсивность полосы внеплоскостных колебаний С-Н связей паразамещенного кольца заметно снижается только при дозе Ф = 7x10 16 см-2 |
| Abstract (in another language): | Films of KMP E3502 photoresists with a thickness of 2.62 microns deposited on the surface of silicon wafers by centrifugation were studied by IR-Fourier spectroscopy using a diffuse reflection attachment. Irradiation with electrons with an energy of 3.5 MeV at a dose of up to Ф = 7x10 16 cm-2 was carried out on an ELU-4 linear electron accelerator. It is shown that upon irradiation, the intensity of solvent-bound bands in the range of v = 1000-1070 cm-1 decreases. They disappear from the spectrum at doses > 1x10 16 cm-2. The bands associated with the aromatic ring fluctuations are quite stable. Their intensity is noticeably reduced only at a dose of Ф = 7x10 16 cm-2. In the area of valence vibrations of multiple C=O bonds, a complex restructuring of the spectrum was observed during irradiation. There was a decrease in the intensity of the band at 1700 cm-1 associated with the solvent, and an increase in the intensity of the band at 1650 cm-1, most likely due to the formation of quinoid groups. The intensity of the band of out-of-plane vibrations of the C-H bonds of the parasubstituted ring is noticeably reduced only at a dose of Ф = 7x10 16 cm-2. The removal of the solvent, both during drying and irradiation, led to a shift to the low-energy region of the first interference maximum observed in the reflection-absorption spectra of the photoresists films. This is due to a decrease in the thickness of the film |
| Description: | Секция 3. Влияние излучений на структуру и свойства материалов = Section 3. Radiation Influence on the Structure and Properties of Materials |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/340561 |
| ISSN: | 2663-9939 (print) 2706-9060 (online) |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2025. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 215-218.pdf | 129,59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.