Структура и оптические свойства нанокристаллов InAs, синтезированных высокодозной ионной имплантацией в кремний

Комаров, Ф.Ф.; Мильчанин, О.В.; Власукова, Л.А.; Моховиков, М.А.; Пархоменко, И.Н.; Мудрый, А.В.; Веш, В.; Исмайлова, Г.А.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/340232

Title:	Структура и оптические свойства нанокристаллов InAs, синтезированных высокодозной ионной имплантацией в кремний
Other Titles:	STRUCTURE AND OPTICAL PROPERTIES OF InAs NANOCRYSTALS SYNTHESIZED BY HIGH-FLUENCE ION IMPLANTATION IN SILICON
Authors:	Комаров, Ф.Ф. Мильчанин, О.В. Власукова, Л.А. Моховиков, М.А. Пархоменко, И.Н. Мудрый, А.В. Веш, В. Исмайлова, Г.А.
Keywords:	ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date:	2013
Publisher:	Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси
Citation:	Наноструктуры в конденсированных средах : сборник научных трудов. – Минск : Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, 2013. – С. 71-76
Abstract:	Проведены исследования формирования наноразмерных кристаллитов InAs в кристаллическом кремнии методом высокодозной имплантации ионов (мышьяк и индий) и последующей высокотемпературной обработки. Установлено, что размеры кристаллитов и распределение внедрённых примесей по глубине образцов зависят от условий отжига. В спектрах фотолюминесценции образцов с нанокристаллитами зарегистрирована широкая полоса в диапазоне энергий квантов 0,75−1,10 эВ. Обсуждается природа этой полосы.
Abstract (in another language):	Our report is devoted to formation of nanosized clusters InAs in SiO2(40 nm)/Si structures by high-fluence ion implantation followed by high-temperature handling. It was shown that the depth distribution of implanted atoms and size distributions of nanocrystals depend on the annealing conditions. In the photoluminescence spectra of the samples a broad band in the photon energy range 0,75−1,10 eV was revealed. This band can be considered as a superposition of two bands with maxima at 0.94 and 0.99 eV.
URI:	https://elib.bsu.by/handle/123456789/340232
Licence:	info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:	Статьи сотрудников НИИ ПФП

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Комаров.pdf		403,97 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar