Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/340228| Title: | Формирование твёрдых и сверхтвёрдых наноструктурированных трёхкомпонентных покрытий на основе титана методом реактивного магнетронного осаждения |
| Authors: | Комаров, Ф.Ф. Пилько, В.В. Кукареко, В.А. Константинов, С.В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Машиностроение |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси |
| Citation: | Наноструктуры в конденсированных средах : сборник научных трудов. – Минск : Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, 2013. – С. 77-83 |
| Abstract: | Выполнены исследования свойств комплекса «подложка−покрытие» для установления влияния легирующих элементов и их концентрации на эксплуатационные характеристики покрытий. Объектом исследования явились покрытия из наноструктурированных плёнок на основе нитрида титана, легированные кремнием, хромом, алюминием. Создание переходного слоя проводилось плавным изменением подачи азота в вакуумную камеру при нанесении. Наносились покрытия TiN, TiSiN, TiCrN, TiAlN. Проведено изучение структуры, элементного и фазового состава покрытий. Исследованы эксплуатационные характеристики покрытий. Полученные результаты могут быть использованы в полупроводниковой технике, изделиях машиностроения и в космической технике. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/340228 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Комаров3.pdf | 866,89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.